Hãng sản xuất: Mahr

Model: WM 100

Thông số kỹ thuật

– Phương pháp đo: Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng.

– Nguồn sáng (WLI): LED, 505 nm

– Dải đo: Đơn vị cảm biến có thể di chuyển được bằng tay 200 mm trên trục Z

– Bàn có thể di chuyển theo cách thủ công trên trục X và Y

– Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng:

– Dải đo (WLI): lên đến 100 µm (phương thẳng đứng).Nhiều hơn theo yêu cầu.

– Cung cấp bao gồm:

– Hệ thống cảm biến bao gồm:

+) Đầu cảm biến -WLI

+) Camera, 1280 x 1024 pixels, lên đến 169 fps

+) 100 µm piezo drive, đầu đo Z

– WLI software module, hệ điều hành

– PC kèm Windows 10 và màn hình 24”

– Đế và cột bằng đá granit với hệ thống cảm biến định vị bằng tay

– Bảng XY thủ công

– 20×0.4 DI lens (Giao thoa kế ánh sáng trắng)