개요
초박막 웨이퍼 핸들링 솔루션
제조 공정 기술의 발전에 따라 웨이퍼는 점점 더 얇아지고 있으며, 검사장비 혹은 후 처리 과정에서 매우 얇고 휜 웨이퍼를 처리할 수 있는 기술이 필요로 되고 있습니다.
메카트로닉의 웨이퍼 로더는 반도체 산업에서 필요로 하는 최고 수준의 안전성과 신뢰도로 50um 두께의 초박막 웨이퍼를 핸들링 할 수 있으며, 시장에 나와 있는 기존 장비와 비교했을 때 웨이퍼 이송 시간을 크게 단축하는 기능을 제공합니다.
메카트로닉 장비는 귀사의 수율을 최적화하는데 도움을 드릴 수 있습니다.
특징
● 카세트 / FOUP 에서 외부 척(Chuck) 또는 다른 스테이션으로 웨이퍼, 프레임을 완전 자동 적재가 가능하며
고객 요구사항에 따라 외부 장비에도 적용이 가능합니다.
● 웨이퍼 두께 최대 50um, 휜(Warped) 웨이퍼 대응이 가능합니다.
스펙
카탈로그
mWL 150/200
mWL 200/300
Tags: 2d 미터 교정, 2d 미터 수리, 2차원 미터, 3d 미터, 3D 미터 수리, Wafer Handler mechatronic Wafer Loader, 수리 cmm 미터, 수리 미터, 수리 현미경, 장비의 기간은 확인해야 함, 장치 교정