Wafer Handlermechatronic Packing Tool개요효율적인 웨이퍼 물류 시스템 메카트로닉의 mPT(mechatronic Packing Tool)시리즈는 최신형 기술의 웨이퍼 패커로서 초박막 또는 휜(Warped) 웨이퍼를 안전하게 취급하는 새로운 표준입니다. 또한 모듈식 설계 개념을 일관되게 구현함으로써 오픈 카세트, FOUP, FOSB를 포함한 다양한 웨이퍼 캐리어와 Shipping Box 간의 완벽한 호환성을 보장합니다. 정교한 센서 기술로 다양한 포장재의 유형을 신뢰성 있게 …
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