Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper개요축소 투영 노광장치 MEMS 스테퍼 시리즈MEMS 디바이스의 다양화에 대응2～6인치 웨이퍼 대응(NES1), 6～8인치 웨이퍼 대응(NES2)
MEMS용 R&D 용도에서 양산까지 1대로 대응 가능
다양한 기판 사이즈 / 형태, 접착, 변형 등 커스텀 대응 가능
깊은 DOF로 두꺼운 PR 노광대응
IR 투과 얼라인먼트,Back면 얼라인먼트 가능(Option）
Small …
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