MASK/Wafer 측정기BSM

MASK/Wafer 측정기BSM

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MASK/Wafer 측정기BSM개요 Wafer 양면 좌표 측정기특징- Wafer 양면 좌표 측정 - 양면 패턴사이 좌표 편차 측정 - 측정 재현성 3σ ≦ 100nm - 노광기와 연계 운용카탈로그BSM(K) …