MASK/Wafer 측정기BSMMASK/Wafer 측정기BSM개요 Wafer 양면 좌표 측정기특징- Wafer 양면 좌표 측정 - 양면 패턴사이 좌표 편차 측정 - 측정 재현성 3σ ≦ 100nm - 노광기와 연계 운용카탈로그BSM(K) …