MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요

MASK/Wafer 측정기AMFiM개요Mask 선폭 측정기해당 제품은 9인치 이하 포토마스크 선폭과 좌표의 자동측정이 가능합니다. 고 정도 스테이지와 독자 개발한 광학계를 채용하여 간단한 조작으로 높은 재현성을 얻을 수 있습니다. i선 LED 광선을 채용하여 메인터넌스가 용이합니다. 스펙●주요사양측정대상마스크 9인치 이하대상 선폭 0.5～30μm（시야 내 계측） 30～500μm（스테이지 이동 …