LASER 미세가공장치NEL-150i

LASER 미세가공장치NEL-150i개요LASER 미세가공장치레이저 미세 가공장비 NEL-150i■ 고출력 YAG 레이저 발진기 및 광학 현미경, 정밀 X,Y Stage를 조합한 반도체 Wafer용 초정밀 Laser가공 장치■ Stage를 제어하고 외부 Interface에서 주어진 좌표로 작업을 쉽게 Positioning■ 가공용 YAG LASER를 현미경 대물 LENS를 통해  Taget에 조사하여 마킹 가능특징■ NUV에 의한 고분해능 …