Phát hiện khiếm khuyết nội tuyến quang học của khoảng trống có dấu - Giải pháp kiểm tra ngoại quan, kích thước nội tuyến thời gian thựcHình dạng phức tạp của các khoảng trống có nghĩa là cho đến nay việc kiểm tra bề mặt không được thực hiện trong các đường phôi. Quá trình tẩy trắng đặt …