Thông số kỹ thuật

Bàn xoay

• Độ xoay chính xác (hướng tâm): {(0.02+3.5H/10000)µm}
• Độ xoay chính xác (quanh trục): {(0.02+3.5X/10000)µm}

H: Chiều cao lấy mẫu (mm), X: Khoảng cách từ trục bàn xoay (mm)

• Tốc độ quay:

  2, 4, 6, 10rpm (20rpm: tự động định tâm)
• Đường kính bàn quay:

  ø 11.8″ (300mm)
• Phạm vi định tâm:

  ±5mm
• Phạm vi san bằng:

  ±1°
• Đường kính lấy mẫu tối đa: ø 15.7″ (400mm)
• Đường kính phôi tối đa: ø 26.8″ (680mm)
• Trọng lượng phôi tối đa:

  176 lbs (80kg)
  143 lbs (65kg): tự động định tâm

Trục máy dọc (Trục Z)

• Hành trình dọc:

  13.8″ (350mm), (21.7″ (550mm): mã AH)
• Độ thẳng (λc2.5):

  0.05µm / 100mm, 0.14µm / 350mm
  (0.2µm / 550mm: mã AH)
• Độ song song với trục quay

  0.2µm / 350mm
  (0.32µm / 550mm: mã AH)
• Tốc độ định vị:

  Max. 60mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Chiều cao lấy mẫu tối đa:

  13.8″ (350mm) (OD / ID)
  [21.7″ (550mm) (OD / ID): mã AH
• Chiều sâu lấy mẫu tối đa:

  lớn hơn ø32: 85mm (với đầu đo tiêu chuẩn)
  lớn hơn ø7: 50mm (với đầu đo tiêu chuẩn)

Trục ngang (Trục X))

• Hành trình ngang:

  8.9″ (225mm)
• Độ thẳng (λc2.5): 0.4µm / 200mm
  Độ vuông với trục xoay: 0.5µm / 200mm
• Tốc độ định vị:

  Max. 50mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s

Đầu dò và đầu đo

• Dải đo

  ±400µm (±5mm: phạm vi theo dõi)
• Lực đo

  10mN~50mN (trong 5 bước)
• Đầu đo tiêu chuẩn:

  12AAL021,đầu bi cacbua, ø1.6mm
• Hướng đo: Hai hướng
• Điều chỉnh góc đầu đo: ±45° (với vạch chia)

Thiết bị phân tích dữ liệu:

• Phần mềm phân tích:

  Roundpak
• Loại bộ lọc:
• 2CRPC-75%, 2CRPC-50%, 2CR-75% (không có giai đoạn sửa chữa), 2CR-50% (không có giai đoạn sửa chữa), Gaussian, bộ lọc OFF
• Giá trị điểm ngắt;
• 15upr, 50upr, 150upr, 500upr, 1500upr, 15-150upr, 15-500upr, 15-1500upr, 50-500upr, 50- 1500upr, 150-1500upr, Thiết lập bằng tay
• Vòng tròn tham chiếu để đánh giá độ tròn:
• LSC, MZC, MIC, MCC

Áp lực khí:

• Áp lực khí:

  390kPa (4kgf/cm2)
• Mức tiêu thụ khí:

  45L/min

• Nguồn cấp

  100V AC – 240V AC, 50/60Hz
• Khối lượng:

  Máy chính: 1433lbs. (650kg)
  1477lbs. (670kg): mã AH
• Bộ tách rung:

  375 lbs (170kg)