Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

개요

축소 투영 노광장치 MEMS 스테퍼 시리즈

MEMS 디바이스의 다양화에 대응

  • 2~6인치 웨이퍼 대응(NES1), 6~8인치 웨이퍼 대응(NES2)
  • MEMS용 R&D 용도에서 양산까지 1대로 대응 가능
  • 다양한 기판 사이즈 / 형태, 접착, 변형 등 커스텀 대응 가능
  • 깊은 DOF로 두꺼운 PR 노광대응
  • IR 투과 얼라인먼트,Back면 얼라인먼트 가능(Option)
  • Small Footprint로 협소한 공간에도 효율적 운용가능
특징

 Nikon Mini Stepper 

 NES Series-i10

• 새롭게 디자인된 투사렌즈 개발로 보다 넓은 필드 사이즈와 고해상도 실현 (44x44mm)
• 노광영역 확대에 따른 Throughput 향상
• SEMI/ CE 준수
• 옵션사양으로 고정밀 배면 정렬장치 적용가능
• 세계 최소수준의 Foot print


 Nikon Mini Stepper 

 NES Series-ghi06/i06

• 고출력 i-line과 22mmx22mm의 넓은 노광영역으로 생산성 향상
• i-line 프로세스뿐만 아니라 i-line PR에도 적용 가능하며
• NA가 0.13인 투사렌즈 채택으로 초점심도와 해상도가 가장 높은 조합
• SEMI 2/8 및 NFPA79 준수
• 옵션사양으로 고정밀 배면 정렬장치 적용가능
• 세계 최소수준의 Foot print


 Nikon Mini Stepper 

 NES Series-h04/h04A

• LED&MEMS에 최적화된 투영 렌즈 채택
• 새로운 광학계로 노출 Power 및 Throughput 향상
• 1 Reticle방식 2 Pattern적용으로 Reticle 비용절감 효과  증진
• NES1W-h04/h04A, NES2W-h04/h04A ( CE/SEMI규격 대응장비 )
• 세계 최소 수준의 Small Footprint


 

      1. Large depth of focus

      – 두꺼운 Photo Resist에도 대응 가능 (PR 10um 이상에서, L/S 3um)

       – BOW Wafer에도 대응 가능(4inch기준 BOW 200um대응)

     

      2. Smallest Footprint 

      – 세계 최소 레벨의 Footprint ( W: 1150 x D: 1940 x H:2080 )

      

      3. 고정도 Backside Alignment, IR용 Alignment 중 선택 가능


4. 비용대비효과가 뛰어난 Basic Model

      

   Option
  • Auto Wafer Loader
  • Environmental Chamber(Wafer-Cooling)
  • Back Side Alignment System
  • Test Reticle Kit
  • Auto Reticle Slider (for Multi-Pattern Reticle)
  • Reticle Barcorde Reader (for Manual Reticle Slider)
  • Auto Sigma Changer
  • IR Alignment System
  • Recipe Editor
  • Uninterruptible Power Supply(UPS)

스펙

투영렌즈NEW
i04
NEW
i05
개발중
i10A
i10
본체NES1 (≦ 6″) / NES2 (6″ & 8″)
파장 (nm)365
(i-line)
해상력 L/S (μm)1.01.21.83.7
베스트 퍼포먼스
해상력 L/S (μm) *1
0.81.01.32.6
초점 심도 (μm) *26101874
노광 필드 (mm)15×1522×2250×5044×44
조도 (mW/cm2)1000700300300
중첩 정도 (μm)      (M+3σ)0.30.30.60.6
웨이퍼 사이즈≦ 6″6″ & 8″6″ & 8″8″
스루풋 8″ (WPH)
(100 mJ/cm2)
N/A457171
스루풋 6″ (WPH)
(100 mJ/cm2)
6281121N/A
투영 렌즈i06ghi06h04h04A
본체NES1 (≦ 6″) / NES2 (6″ & 8″)
파장 (nm)365
(i-line)
365-436
(ghi-line)
405
(h-line)
해상력 L/S (μm)2.02.32.01.6
베스트 퍼포먼스
해상력 L/S (μm) *1
1.41.7N/A
초점 심도 (μm) *2221610
노광 필드 (mm)22×2215×15
조도 (mW/cm2)8001400800
중첩 정도 (μm)      (M+3σ)NES1:0.3  NES2:0.350.3
웨이퍼 사이즈6″ & 8″≦ 6″
스루풋 8″ (WPH)
(100 mJ/cm2)
4548N/AN/A
스루풋 6″ (WPH)
(100 mJ/cm2)
828760

참조 *1:최상의 프로세스 조건의 경우
*2:최상의 프로세스 조건으로 산출한 값

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