Hexapod lai với đầu 60 độ và hành trình nghiêng

ALIO Industries đã công bố sự sẵn có của Angulares  Hybrid Hexapod mới của mình. Hành trình đầu/nghiêng 60 độ của Angulares  Hybrid Hexapod cung cấp phạm vi di chuyển góc nhất có sẵn từ bất kỳ thiết bị định vị 6-Bậc-Tự-do (6-DOF) nào trên thị trường.

Angulares  có các hướng dẫn vòng bi lăn chéo chính xác, phản hồi bộ mã hóa gia tăng hoặc tuyệt đối quang học trên tất cả các trục, động cơ tuyến tính và/hoặc ổ trục vít bóng servo, vị trí điểm trung tâm công cụ có thể lập trình không giới hạn và độ lệch tọa độ, và không có phản ứng dữ dội trên tất cả các trục. Thiết kế giúp cho Angulares  có khả năng di chuyển XY không giới hạn, hành trình Z là 62 mm, có thể tăng lên 208 mm khi sử dụng các kiểu giá ba chân khác, di chuyển đầu/nghiêng 60 độ (+/- 30 độ) với Theta-Z 360 độ liên tục, Độ lặp lại hai chiều XYZ nhỏ hơn +/- 0,6 cung-giây, vận tốc lên đến 100 mm/giây XY và Z, và chuyển động gia tăng tối thiểu theo góc tuyến tính và 0,1 giây cung nhỏ hơn 10 nanomet.

Hybrid Hexapod được phát triển bởi ALIO Industries để giải quyết các hạn chế về hiệu suất cố hữu của hexapod thông thường. Thiết kế 6-DOF đã được cấp bằng sáng chế của ALIO kết hợp liền mạch và tận dụng các điểm mạnh của cấu trúc động học nối tiếp và song song đồng thời tránh các điểm yếu của chúng. Hybrid Hexapod mang lại tính linh hoạt chức năng cao hơn nhiều, độ chính xác ở cấp độ nanomet, khả năng lặp lại và quỹ đạo 6-DOF vượt trội so với bất kỳ cấu hình sân khấu xếp chồng hoặc hexapod truyền thống nào.

Hexapod tiêu chuẩn phục vụ thỏa đáng các ứng dụng yêu cầu dung sai chuyển động micron, nhưng khi nhu cầu về yêu cầu nanomet mở rộng, hexapod tiêu chuẩn gặp khó khăn. Điều này là do có những hạn chế về hiệu suất vốn có trong tất cả các thiết kế hexapod “thông thường”. Chúng hoạt động trong không gian 3 chiều, và bị lỗi ở cả 6 DOF. Tuy nhiên, các hệ thống chuyển động sáu chân thường chỉ được đặc trưng bởi dữ liệu hiệu suất của một bậc tự do duy nhất. Thực tiễn này khiến các nguồn lỗi không được tính đến ở một số bậc tự do, đặc biệt là trong các lĩnh vực phẳng và thẳng, vốn là những nhu cầu chính xác quan trọng ở cấp độ nanomet. Độ phẳng và độ thẳng tốt nhất của hành trình hexapod vẫn không chính xác hơn 2 bậc độ lớn (ít hơn 2 dấu thập phân) đối với chuyển động XY cơ bản.

Bởi vì hexapods có sáu liên kết được điều khiển độc lập được kết hợp với nhau để di chuyển trên một nền tảng chung, lỗi chuyển động của nền tảng sẽ là một chức năng của các lỗi của TẤT CẢ các liên kết và khớp nối. Hexapod được biết là có độ chính xác tối ưu khi thực hiện di chuyển trục Z, bởi vì tất cả các liên kết đều thực hiện cùng một chuyển động ở cùng một góc liên kết tương đối. Tuy nhiên, khi bất kỳ chuyển động X, Y, cao độ, ngáp hoặc cuộn nào khác được ra lệnh, hiệu suất đường dẫn hình học và độ chính xác của hexapod giảm đáng kể do tất cả các liên kết đang thực hiện các chuyển động khác nhau. Trong trường hợp các hexapod thông thường được chế tạo với các khớp nối, ổ trục và bộ điều khiển chuyển động không chính xác không có khả năng lập các phương trình động học thuận và ngược, nguồn gốc của lỗi thậm chí còn rõ ràng hơn.

Thiết kế độc đáo của Hybrid Hexapod bao gồm một chân máy động học song song để tạo ra mặt phẳng Z và chuyển động đầu/nghiêng. Giá ba chân này được tích hợp với một tầng động học nối tiếp nguyên khối cho chuyển động phẳng XY. Một bệ quay được tích hợp vào phía trên cùng của giá ba chân (hoặc bên dưới tùy theo nhu cầu của ứng dụng) cung cấp khả năng xoay liên tục 360 độ (Theta-Z).

Trong thiết kế kết hợp này, các trục riêng lẻ có thể được tùy chỉnh để cung cấp phạm vi hành trình XY từ milimét đến phạm vi hầu như không giới hạn trong khi vẫn duy trì độ chính xác ở mức nanomet. Động học của bộ điều khiển thuận và nghịch mới lạ cung cấp số lượng không giới hạn các vị trí điểm trung tâm của công cụ có thể lập trình cùng với hiệu suất và độ chính xác của đường đi chưa từng có.

Angulares hoàn toàn phù hợp cho các ứng dụng bao gồm đo lường quang học phi cầu và dạng tự do, đóng gói và thăm dò quang tử silicon, xử lý vi laze (chất nền không phẳng và điều khiển độ côn), đo lường wafer, căn chỉnh và lắp ráp mô-đun máy ảnh, thử nghiệm ổn định hình ảnh/cảm biến và quang học căn chỉnh phần tử và sợi quang

Để biết thêm thông tin: www.alioindustries.com