Hệ thống kiểm tra quang học tạo ra 75 triệu điểm dữ liệu 3D mỗi giây

Cyberoptics sẽ công bố các hệ thống Đo lường và Kiểm tra WX3000 3D và 2D WX3000 hỗ trợ Multi-Reflection Suppression™ (MRS) mới cho các ứng dụng đóng gói tiên tiến và cấp wafer tại triển lãm ảo SEMICON West sắp tới.

Kết hợp cảm biến NanoResolution MRS, hệ thống Đo lường và Kiểm tra WX3000 cho phép kết hợp tối ưu giữa tốc độ cao, độ phân giải cao và độ chính xác cao đối với bao bì tiên tiến và cấp wafer, để cải thiện năng suất và sản lượng.

Thực hiện nhanh hơn hai đến ba lần so với các công nghệ thay thế ở tốc độ xử lý dữ liệu vượt quá 75 triệu điểm dữ liệu 3D mỗi giây, các hệ thống WX3000 hỗ trợ cảm biến NanoResolution MRS cung cấp thông lượng lớn hơn 25 tấm wafer mỗi giờ. Việc kiểm tra và đo lường 100% 3D và 2D có thể được hoàn thành đồng thời ở tốc độ cao, so với một phương pháp chậm, thay thế đòi hỏi hai lần quét riêng biệt cho 3D và 2D và chỉ lấy mẫu một vài khuôn.

Cảm biến NanoResolution MRS độc quyền, được coi là tốt nhất trong loại, xác định tỉ mỉ và loại bỏ nhiều phản xạ gây ra bởi các bề mặt sáng bóng và giống như gương. Triệt tiêu hiệu quả nhiều phản xạ là rất quan trọng đối với các phép đo có độ chính xác cao.

Tiến sĩ Subodh Kulkarni, Chủ tịch kiêm Giám đốc điều hành của CyberOptics cho biết: “Với sự phức tạp và đa dạng ngày càng tăng của các loại bao bì tiên tiến, nhu cầu đo lường và kiểm tra 100% 3D và 2D có độ chính xác cao tiếp tục tăng lên,” Tiến sĩ Subodh Kulkarni, Chủ tịch kiêm Giám đốc điều hành, CyberOptics cho biết. “ Các hệ thống WX3000 hỗ trợ MRS của chúng tôi cung cấp không chỉ có độ phân giải cao và độ chính xác cao, chúng còn hoạt động nhanh hơn 2-3 lần so với các công nghệ thay thế.”

Các hệ thống WX3000 được thiết kế dành riêng cho các ứng dụng đóng gói tiên tiến và cấp wafer khác nhau bao gồm các miếng đệm wafer, quả bóng và miếng đệm hàn, miếng đệm vàng và trụ đồng. Các hệ thống cung cấp hiệu suất đo lường và kiểm tra vượt trội cho các tính năng xuống tới 25 micron, bao gồm chiều cao vết sưng, độ đồng phẳng, đường kính và hình dạng, vị trí tương đối và nhiều phép đo khác.

CyberOptics sẽ ra mắt hệ thống WX3000 cho các tấm bán dẫn 12” và 8” và hệ thống WX3000 cho các tấm bán dẫn 8” và 6”.

Để biết thêm thông tin:  www.cyberoptics.com