Giai đoạn Piezo cho các ứng dụng lấy nét tự động và lấy nét nhanh

Dòng thiết bị định vị thấu kính của PI, được thiết kế để quét và định vị các vật kính có độ phân giải dưới nm ở băng thông cao, đang mở rộng với thế hệ mới của các bệ lấy nét hình tròn Z – dòng sản phẩm bệ uốn hình tròn P-725 PIFOC. Có sẵn trong 3 phạm vi hành trình 100µm, 400µm và 800µm hàng đầu trong ngành, khả năng lấy nét nhanh hiệu suất cao với độ chính xác nanomet đạt được cho các ứng dụng như kính hiển vi siêu phân giải, đo lường wafer và xử lý vật liệu laze. Ngoài việc cung cấp hiệu suất cao hơn, các giai đoạn P-725 thế hệ tiếp theo cũng dễ cài đặt hơn, nhỏ gọn hơn và cho phép nhiều đơn vị thống nhất trong một tháp kính hiển vi.

Được trang bị các cảm biến đo lường trực tiếp để đạt được độ tuyến tính và độ ổn định cao nhất, ổ đĩa áp điện không ma sát đảm bảo phản ứng nhanh, độ cứng cao và thời gian ổn định nhanh trong vài mili giây. Hệ thống hướng dẫn độ uốn tự do phát được tối ưu hóa bằng máy tính giúp tăng cường khả năng lặp lại và ổn định lấy nét.

Các giai đoạn lấy nét được hướng dẫn bởi Piezo-Flexure so với Voice Coil – Các giai đoạn lấy nét được hướng dẫn bởi con lăn chéo

PI cung cấp cả hai giải pháp, chúng giải quyết các yêu cầu tương tự và đôi khi khác nhau. Các giai đoạn lấy nét được dẫn hướng bằng Piezo-flexure nhỏ gọn hơn, mang lại độ thẳng, phẳng tốt hơn và giảm lỗi góc, thường được gọi là độ chính xác của hướng dẫn. Hướng dẫn uốn cũng không có ma sát và không bị mài mòn. Tuy nhiên, phạm vi chuyển động bị hạn chế. Đối với phạm vi hành trình dài hơn, các bệ điều khiển bằng cuộn dây bằng giọng nói với ổ lăn chéo là một tùy chọn, chẳng hạn như bệ lấy nét V-308 của PI có hành trình dọc 7mm và đối trọng do người dùng điều chỉnh. Một tùy chọn khác để di chuyển lâu hơn, với hệ thống hướng dẫn không ma sát, không mài mòn và có độ chính xác cao là ổ trượt ổ trục không khí điều khiển bằng động cơ cuộn dây bằng giọng nói nhỏ A-142 mới được giới thiệu gần đây.

Bộ điều khiển kỹ thuật số với Lấy nét và Đóng băng nhanh và Quét tự động

Cùng với các giai đoạn lấy nét, trình điều khiển / bộ điều khiển servo piezo kỹ thuật số nhỏ gọn E-709 mới được thiết kế để cung cấp tốc độ lấy mẫu 20kHz, gấp đôi công suất của thiết bị tiền nhiệm cùng với độ phân giải gấp nhiều lần. Các tính năng nâng cao như tuyến tính hóa bậc 4 để cải thiện chất lượng hình ảnh, theo dõi tốc độ cao và khả năng Lấy nét nhanh & Đóng băng độc đáo của PI, trong đó thiết bị có thể được chuyển đổi dễ dàng từ cảm biến (tiêu điểm) bên ngoài sang cảm biến vị trí được tích hợp trong giai đoạn lấy nét cho phép chính xác , hiệu chỉnh, chuyển động ổn định đối với mặt phẳng tiêu điểm. Gói phần mềm toàn diện được bao gồm: trình điều khiển cho LabVIEW, thư viện động cho Windows và Linux, MATLAB, MetaMorph, µManager, v.v. Các giao diện bao gồm USB, SPI, RS-232 và analog. Các chức năng được hỗ trợ bao gồm bộ tạo sóng, bộ ghi dữ liệu, tự động về 0 và kích hoạt I/O.

Để biết thêm thông tin: www.physikinstrumente.com