Chức năng định tâm và san bằng
Bàn xoay hiển thị các điều chỉnh căn giữa và san bằng kỹ thuật số, làm cho nhiệm vụ đầy thử thách này đủ đơn giản để ngay cả một người điều hành mới cũng có thể thực hiện.

1. Đo sơ bộ hai mặt cắt: A và B.

2. Sau khi đo sơ bộ, các giá trị điều chỉnh căn giữa và san bằng được hiển thị trên màn hình

3. Bằng cách điều chỉnh các đầu đo cho bàn quay, có thể đạt được các giá trị điều chỉnh hoặc đồng hồ đo mức hiển thị trên màn hình.

4. Hoàn thành định tâm và san bằng.
Phạm vi định tâm: ±3mm
Phạm vi san bằng (độ nghiêng): ±1°

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Thông số kỹ thuật

Bàn xoay

• • Độ xoay chính xác (hướng tâm): (0.02+6H/10000)µm (RA-1600)
  • Độ xoay chính xác (quanh trục): (0.02+6X/10000)µm (RA-1600)
  • Độ xoay chính xác (hướng tâm): (0.03+6H/10000)µm (RA-1600M)
  • Độ xoay chính xác (quanh trục): (0.03+6X/10000)µm (RA-1600M)

H: chiều cao lấy mẫu (mm), X: bán kính lấy mẫu (mm)

• Tốc độ quay:

  4, 6, 10rpm
• Đường kính bàn quay:

  ø5.9″(150mm)
• Phạm vi định tâm:

  ±3mm (với chức năng DAT)
• Phạm vi san bằng:

  ±1° (với chức năng DAT)
• Đường kính lấy mẫu tối đa: ø11″(ø280mm)
• Đường kính phôi tối đa: ø22″(ø560mm)
• Tải tối đa của bàn xoay: 55lbs (25kg)

Trục máy dọc (Trục Z)

• Hành trình dọc:

  11.8″ (300mm)
• Độ thẳng (trong phạm vi hẹp): 0,20µm / 100mm (RA-1600)
• Độ thẳng (trong toàn bộ dải): 0,30µm / 300mm (RA-1600)
• Độ thẳng (trong phạm vi hẹp): 0,40µm / 100mm (RA-1600M)
• Độ thẳng (trong toàn bộ dải): 0,80µm / 100mm (RA-1600M)
• Độ song song với trục bàn xoay: 1.5µm / 300mm
• Tốc độ định vị:

  Max. 15mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Chiều cao lấy mẫu tối đa (ID/OD): 11.8″(300mm)*1
• Độ sâu lấy mẫu tối đa: 91mm (lớn hơn ø32)
• 3.6″(lớn hơn ø1.26″)((91mm (lớn hơn ø32))
• 1.97″(lớn hơn ø0.27″)((50mm (lớn hơn ø7)

Trục ngang (Trục X))

• Hành trình ngang:

  6.5″(165mm) (Từ trục bàn xoay -1~±5.5″
  ((-25mm – ±140mm))
• Tốc độ định vị:

  Max. 15mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Độ thẳng trục X: 2.7µm/140mm (RA-1600)
• Độ song song trục X với trục bàn xoay:
• 1.6µm/140mm (RA-1600)

Đầu dò và đầu đo

• Dải đo

  ±400µm / ±40µm / ±4µm
• Lực đo

  10–50mN (5 lmức chuyển đổi)
• Đầu đo tiêu chuẩn:

  2AAL021, đầu bi cacbua, ø1.6mm
• Hướng đo: Hai hướng
• Điều chỉnh góc đầu đo: ±45° (với vạch chia)

Cung cấp không khí

• Áp lực khí:

  0.39MPa (4kgf/cm2)
• Mức tiêu thụ khí:

  22L/min.

• Nguồn cấp

  100V AC – 240V AC, 50/60Hz
• Kích thước (W x D x H): 35 x 19.3 x 33″(890 x 490 x 840mm)
• Khối lượng:

  375lbs (170kg)

* 1 Sử dụng giai đoạn phụ trợ tùy chọn để đo phôi có chiều cao từ 20mm trở xuống.