Nikon Wafer LoaderNWL200

Wafer Loaders for IC Inspection Microscope
NWL200

• 반도체 제조 공정에서 두께가 한층 얇아지는 Wafer 대응
• NWL200 시리즈는 니콘 독자적인 기술
• 검사 현미경용 Wafer Loader 최초의 100μm 두께 Wafer 이송 가능
• 차세대 반도체 검사에 맞춘 안정적인 반송을 실현

– Wafer 후공정에서의 Thin Wafer의 수동 Loading 대응

    – 새로운 흡착 방식을 채용한 NWL Series로 최대 100μm 두께 Wafer 이송이 가능

    – 높은 안전성과 신뢰성으로 Thin Wafer 검사 요구에 최적화

   – Thin Wafer의 경우 Carrier의  검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응

   – NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

   – Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능

뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치 

       – Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상
– 정교한 인체 공학 디자인
– 높은 처리량의 Cycle Time 단축
– 높은 신뢰성 ( Error의 진단등 전면Display로 확인 가능 )      

 원격 액세스 도구 및 NWL200 구성

     – 레시피 준비 지원 기능
– 장비 유지 보수 (백업 및 검사 Recipe 복원기능)