반도체 LSI/FPD 현미경L200N / L200ND

반도체 LSI/FPD 현미경L200N / L200ND

개요

반도체 LSI / FPD 검사 현미경

  –  고휘도 반사 투과조명

–  고배율 고해상도 샘플관찰

–  모터라이징 시스템

특징

반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경

관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화

FPD / LSI 검사에 최적화 된 4가지 타입으로 Line-up 구성

 

 

현미경 스테이지

 

 L200N / 200ND 스테이지

– 측정거리 : 200 x 200mm (8″ x 8″)

(6인치 / 8인치 웨이퍼 대응)

 

 L300N / 300ND 스테이지

– 측정거리 : 350 x 300mm (14″ x 12″)

(12인치 웨이퍼 대응)

 

 

 

 

 

대물렌즈 : CFI60-2

 

   – 높은 NA와 긴 작동거리

– 1x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x 의 다양한 렌즈

– 색수차 보정의 향상

 

 

 

환경대응력 및 조작성 향상

 

 

 

12V100W 이상의 밝기를 자랑하는 고휘도 12V50W 할로겐 조명

– 12V100W에 비해 약 1/2의 소비전력을 사용하며 동등 이상의 밝기 실현

– Free centering 램프하우스 채용으로 램프 교체가 용이

– 램프하우스에 Back mirror가 장착, 12V100W 조명 대비 20% 이상의 밝기 구현

– 열에의한 Un-focus 현상 방지

 

기존 대비 3배의 내구성으로 강화된 전동 리볼버 노즈피스

– 대물렌즈 6개 장착 가능

– 3곳에 센터링 보정 기구부 장착

– 편심이 적은 대물렌즈와의 조합으로

저배율 ~ 고배율 전환시 센터링 오차가 적어서 사용이 편리

– 배율전환 시 자동으로 조명이 off 되어 산란광에 의한 작업자의 시력 보호

오염에 강한 정전기 방지 코팅

– 본체, 스테이지, 경통 등에 정전기 방지 코팅 채택

– 오염대책 강화

– 정전기에 의한 시료 손상 방지

최적의 눈높이 에서 관찰 가능한 정립 틸팅 3안헤드

– 시야수 25mm의 초 광시야 타입, 틸팅 각도 30º

– 작업자 신장에 맞게 Eye-Level을 조정하여 편안한 관찰이 가능

 

 

스테이지 미동핸들 위치 고정

– 샘플 관찰위치에 상관없이 미동핸들위치가 바뀌지 않고 조정이 가능하여 조작이 편리

– 모든 조작부 위치가 근접해 있어 포커싱 및 스테이지 이동 조작이 편리

 

 

초점 잡기가 편리한 Focus-Target 내장

Focus-Target을 광로에 삽입하여 Bear Wafer 등의 패턴이 없는 샘플관찰시에도 쉽고 빠르게 초점을 잡을 수 있습니다.

본체 전면부 중심에 조작부 배치

– 스테이지 핸들, 포커스 핸들, 배율전환 버튼 등 모든 조작부가 현미경 전면부에 배치

– 장시간 사용시 작업자 피로도를 최소화한 디자인 설계

 

 

 

다양한 관찰 지원

 

스펙

카탈로그

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