반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경
관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화
FPD / LSI 검사에 최적화 된 4가지 타입으로 Line-up 구성
현미경 스테이지
L200N / 200ND 스테이지 – 측정거리 : 200 x 200mm (8″ x 8″) (6인치 / 8인치 웨이퍼 대응) | |
L300N / 300ND 스테이지 – 측정거리 : 350 x 300mm (14″ x 12″) (12인치 웨이퍼 대응) |
대물렌즈 : CFI60-2
– 높은 NA와 긴 작동거리 – 1x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x 의 다양한 렌즈 – 색수차 보정의 향상 |
환경대응력 및 조작성 향상
초점 잡기가 편리한 Focus-Target 내장 Focus-Target을 광로에 삽입하여 Bear Wafer 등의 패턴이 없는 샘플관찰시에도 쉽고 빠르게 초점을 잡을 수 있습니다. 본체 전면부 중심에 조작부 배치 – 스테이지 핸들, 포커스 핸들, 배율전환 버튼 등 모든 조작부가 현미경 전면부에 배치 – 장시간 사용시 작업자 피로도를 최소화한 디자인 설계 |
다양한 관찰 지원
스펙
카탈로그
L 시리즈 카탈로그
Tags: 2d 미터 교정, 2d 미터 수리, 2차원 미터, 3d 미터, 3D 미터 수리, 반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND, 수리 cmm 미터, 수리 미터, 수리 현미경, 장비의 기간은 확인해야 함, 장치 교정